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某超大半导体技术分娩制造业商家地处长江三角形地段,主耍分娩晶圆和基带芯片。在分娩工作中,晶圆裁割和cnc精密机械加工关键时期生成一大批磨研液焦化废水,平均摆股票放量约50吨。仍然焦化废水里面包含的高盐浓度浮窗物、材料正离子及有机肥料添加图片剂,立即摆放会对场景形成造成 水污染,制造业商家急需要开发专业化加工处理建筑设施。
污废水 有效成分及來源
研磨设备液废水处理工艺一般来来自于于晶圆激光加工中的物理化学自动化设备增加光泽(CMP)工艺程序,一般被污染的物还有:
浮动粒状物
:二腐蚀的硅、腐蚀的铝等磨细颗粒物,粒级在0.1-1μm,溶液浓度可高达2000mg/L。
彩石化合物
:铜、铁、锌等,位于磨光垫破损及晶圆的表面金属材质层,铜亚铁离子密度约50mg/L。
有机肥料增长剂
:其中包括表面上灵活性液、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
强酸强偏碱性的物质
:pH值上下波动大,通常情况下在2-11左右。
除理制作工艺程序流程
重视污水特征参数,利用“预清理+什么是生化+高度清理”组成工艺流程:
调结池
:多样化水环境排水量,加碱酸调理pH至中性粒细胞。
沥青混凝土发展
:加药系统PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),弄掉悬停物和胶体溶液,沉降后SS弄掉率>90%。
催化反应氧化的
:运用Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)挥发有机肥料填加剂,COD取除率达60%。
生物工程清理
:MBR膜怪物反應器进十步化学降解超过可挥发物,COD减少为100mg/L以上。
阳离子调换
:专用型不饱和树脂活性炭吸附铜阳离子,冒水铜含氧量<0.5mg/L。
砂滤+亲水性炭过滤清洁
:保持留水清新,达到了《工业废水整合排放标淮标淮》(GB8978-1996)6级标淮。
后面疗效
设备运动平稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
造纸废污水处理率达40%,所剩及格减排,年减低废污水减排1.5万吨。
外理直接费用约15元/吨,远底于市场大概。