该晶圆制造技术厂处于西北区县,包括种植8英尺半导体器件晶圆,单日废水处理工艺排缩量上涨量约800吨。犹豫种植流程中在使用大量的盐酸去晶圆蚀刻,导至废水处理工艺中氟化物有机废气浓度更是高达200-300mg/L,远超国家的排缩量上涨标准规范(10mg/L下面的)。
污废水 有效成分及因素
废渣大部分位于4个部分:
晶圆蚀刻流程
:含高盐浓度氟化物(HF)、盐酸及大量天价属
电学机械装备抛光剂(CMP)废污水
:含微米级硅小粒、有机化学络合剂
的设备洗掉焦化废水
:含异丙醇、氯离子等可挥发物
加工处理加工过程步奏
按照"化学式沉垫物+混凝土沉垫物+深度.过滤程序"三级分销加工处理模式:
二级外理
:污泥脱水氯化钙和氢氧化反应钙,建成氟化钙沉淀物中,氟化物取除率达85%
特殊进行处理
:增长PAC(缔合氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),取除胶体溶液态弄脏物
两级净化处理
:可以通过多媒质油烟净化器器和渗透性炭降解,出水量氟化物浓硫酸浓度比较稳定在8mg/L左右
最为关键的机器设备包含:pH手动调装置、斜管发展池、板框压泥机(污泥处理脱水处理)。
进而视觉效果
的项目自动运行十年监控统计数据呈现:
氟化物总值渗透压:7.2mg/L(降到祖国的标准)
COD出掉率:92%
废水含水分率:≤65%
年二手回收氟化钙副软件约150吨,保证 资源的化采用