该厂为84英寸晶圆生产加工线一起的超注射用水程序，没天行成含硅废水治疗150吨。废水治疗中虽无巨资属，但硅含锌量高易积垢，且内阻率需实现18MΩ·cm就能够中水回用。改变治疗工艺流程始终无法 满足需要新颁布实施的《电子器件制造业水破坏物排卸准则》（GB39731-2020）特意排卸标准值。 废水处理工艺有效成分特征 最主要的的工业废气 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、粉末硅（粒度分布0.1-1μm） 特出请求 ：TOC<10μg/L，硼占比<5μg/L 水质检测特点 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅化学物质性状更复杂 治疗施工工艺操作流程 什么是创新所采用"梯级膜溶合+电去亚铁离子"女子组合工艺设计： 微滤预处里 ：1μm工业陶瓷膜短信拦截大粒子硅，通量保护80LMH 阳离子相互交换不饱和树脂 ：D201大孔环氧树脂考虑性气体吸附硅酸分子结构 二次RO平台 ：第一次段收废率60%，第二步段用于高脱硼膜pcb板 EDI电去阳离子 ：功率容重2A/m²，不断地的还原残余物阴离子 紫外线消毒杀菌 ：254nm红外光谱线极量40mJ/cm² 水平特点 的开发专用的阻硅剂（无机胺类塑料物），抑制膜污染源定期3倍 EDI功能模块研发流道结构设计，硅剔除率升高至99.8% 网络硅分析一下仪（侧量比率0.1-500μg/L）达到有目的操控 作业效益 经其三方协议探测： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含量从8μg/L下降0.3μg/L 软件的回收利用率从原40%加快至68% 膜更新频次延伸至5年，年进行代价拉低35%