某光电器件电源芯片研制厂在晶圆精加工过程中 中，实用硅烷开展硅外延性滋生，排放洗衣机清洗塔带来高质量浓度含硅废污水。废污水更具pH下跌大（2-11）、硅分量高的特殊性，传统化处里办法易导致硅垢堵住了毛病。 废水处理工艺材料及的来源 废水处理工艺基本材质为： 融化性硅酸盐 ：SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 氢硫化钾/氢硫化钠 ：洗衣机清洗剂塔酸碱平衡洗衣机清洗剂液残渣 颗粒物硅 ：纳米级级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 ：主要原料残渣带进 处里加工流程步骤 特色化分为"多级结合+膜过滤器+蒸发掉晶体"艺： 6级中合 ：用CaO调控pH至4-5，提取硅酸钙沉淀自己，硅剔除率60%。 2级结合 ：加Na₂CO₃将pH发展至9，进第一步沉淀物中剩的硅，并接用镁剂除砷。 超滤膜软件 ：0.02μm陶瓷图片膜滤出纳米级级硅颗料，通量安全稳定在80LMH。 MVR蒸馏器 ：精提高盐电镀废水，晶粒出Na₂SO₄副物料，水中水回用率超90%。 终极结果 总硅从1500mg/L降下来5mg/L这 砷含磷量从0.8mg/L降低0.01mg/L 设备无积垢启动超2年 去年的回收利用磷酸钠结晶体约800吨