佛山某半导体技术电源芯片生产厂家，晶圆生产加工时候中生产含硅、氟的个性化生活污水，设置治理 投资规模1200吨/日。生活污水成份非常复杂，包含的納米级硅颗粒剂及氢佛酸，普通治理 办法无从及格。 污水化学成分及种类 具体危害物 ：悬浊液硅（100-500nm粒级）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 源头生产工艺 ：晶圆刻蚀废液（45%）、CMP化学上的机器磨光废液（40%）、机器洗水（15%） 正确处理技艺程序流程 改革创新按照"有机化学滤渣+持种膜分离法"技木路线图： 钙盐乳浊液 ：加药系统氯化钙消除氟阴离子（转为CaF2滤渣） 水解酸化池想法 ：包覆斜管沉淀池剂实行溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm口径膜虚报冒领微细颗粒剂 反覆盖整体 ：脱盐率>98%，收集率75% 蒸发器结晶体 ：浓水段改变氟化物零废气排放 既定目的 氟化物浓硫酸浓度：<8mg/L（小于发展中国家1阶段规定10mg/L） 硅含碳量：<5mg/L 水产品回收率：70%使用在放凉塔保湿 危废处理减轻药量：蒸发器杂质量较以往制作工艺下降60%