半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
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该光电器件企业公司处在长角形沿海地区,主耍种植854英寸和1254英寸晶圆,日排卸废用水量约2000吨。伴随种植工艺较为复杂,废水下具有刺激性很多难生物降解生产物和血本属铁离子,经典外理工艺不易于能够满足愈发要严格的排卸规范。
生活污水物质及因素
污废气 基本主要来起源三个原则:晶圆切开污废气 含带丰富硅粉和切开液残余的;物理化学厂家增加光泽污废气 含高胶体溶液硅和粉磨粒状;刻蚀除污污废气 含带氟化物、铜铝离子等天价属;光刻方法污废气 则含带光阻剂等有机质造成的有害物质。水体结构特征是COD高(800-1500mg/L)、氟化物氧浓度高(200-400mg/L)、漂浮物多且含带氢化物发生器天价属。
操作鑫霖环保环节
主要采用"有机化学预治理+什么是生化治理+广度治理"的搭配组合工艺流程:
转换池平均水质监测的水量
水泥混凝土滤渣删去浮动物和悬浊液有机化合物
化学反应沉淀自己物中法主要净化处理氟化物,添加钙盐形成了氟化钙沉淀自己物中
淀粉水解硝化作用池提供污水可生化模式性
碰触钝化池分解有机化学被污染源
活力炭降解塔参与宽度清理
膜隔离装置保持出液水质监测安稳
针对性含铜污废水 分次装置铝离子传递模式,收废有作用的废金属铜。
不可能体验
的项目建造后开机运行平稳,留水COD<50mg/L,氟化物有机废气溶液浓度<5mg/L,铜化合物有机废气溶液浓度<0.3mg/L,四项指標均远远高于地区《电子技术轻工业水破坏物污染物标准规定》(GB 39731-2020)。每月可避免COD污染物约300吨,氟化物污染物约50吨,再利用铜合金材料约2吨,确保了环镜高社会效益与实惠高社会效益的共赢。