半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
項目环境
该行业园集中了十余家光电器件相应的公司公司的,规划日净化外理作用5000吨,要有净化外理出自于各不相同公司公司的的混合着污化工废水 。因此各公司公司的生产方式工艺流程对比分析大,污化工废水 化学成分比较复杂变化无常,净化外理难度系数较高。
废水处理含量及来源于
废液常见有3个类:减阻剂值生产废液(光刻胶、定影液等)、含氟废液(刻蚀工艺程序)和酸碱度废液(擦洗工艺程序)。特殊的营养成分有异丙醇、四甲基氢氧化物铵等难降解塑料生产物,还有氟化物、氧化还原电位等高分子严重固体废弃物。废液COD浮动大(500-3000mg/L),氟化物含量值100-500mg/L,氧化还原电位50-150mg/L。
处理的生产工艺步骤
利用"类型征集+分质工作+汇集层次工作"的科学创新模式,:
各个企业实物类型预操作:含氟废水工作方法用单独回收并预操作
小区管网工程总类传送系統
融合转换池平衡水体
多级水泥混凝土奠定去掉漂浮物和电解质溶液
极有效率生物体体现器(HBR)加工无机破坏物
什么是臭氧催化燃烧物氧化物生物降解难分解掉无机物
反固化系统性去脱盐治理
紫外线清洗确保有水出安会
比较使用了百度在线污染监测程序和自行投药程序,因对水质量上下波动。
结果是使用效果
系统性行驶十年来,工作实用效果不稳定性可信度。溢水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,达成河流Ⅳ类标淮,位置回收利用于物流产业园区净化及放置闭式冷却塔补水保湿,回收利用率不低于30%。每季度限制新鲜松茸水实用约40万吨,为物流产业园区品牌减少有水费上百来万。